正压检漏仪其工作原理基于气体通过冷阱进入质谱仪，冷阱作为冷凝泵的角色，捕捉所有蒸汽和其他污染物，确保检测的准确性，早期设计中，冷阱还提供保护，防止油蒸汽污染。
正压检漏仪
辅助粗真空泵系统用于预先抽真空待测部件或连接管路，当达到较低的进气口压力后，辅助抽吸系统和冷阱之间的阀被打开以进行测量。正压检漏仪的灵敏度可以通过降低抽速来提高，例如在涡轮分子泵和冷阱之间安装节气门。
氦气的最小可检分压为1·10^-12mbar，氦气的抽速为10l/s时，可检测到的最小漏气率为1·10^-11mbar·l/s。若抽速降至1l/s，最小漏气率则为1·10^-12mbar·l/s。然而，随着灵敏度的增加，达到稳定测试气体压力所需的时间常数也会相应增大。
负压检漏仪
负压检漏仪其配置与正压检漏仪相似，但待检气体接入在粗真空泵和涡轮分子泵之间。氦气在分支点的压力增加，质谱仪测量的是该处建立的氦气分压。逆流式检漏仪的优势在于其明确的阀打开压力和无需使用LN2冷阱，因为涡轮分子泵对重分子具有极强的压缩能力。
自动检漏系统中，负压检漏仪更为有利，因为它提供了一个明确可测量的阀打开压力。负压检漏仪的开发时间较晚，部分原因在于抽速稳定性不足。
分流模式适用于真空容器尺寸较大或漏气率较高的情况。在这种情况下，氦检漏仪按照分流概念工作，只有部分气流到达检漏仪。分流概念通常用于连接至具有多级真空泵组的真空系统时。
通过降低抽速来实现高灵敏度时，检测时间会延长，通过累加各个时间常数，可以初始地近似估算前后连接在一起并与相关泵相连接的数个容积所需的总时间常数。
